En 1800, Davy comprende que la sílice no es un elemento, sino un compuesto; en 1811, Gay Lussac y Thenard, probablemente prepararon silicio amorfo impuro calentando potasio con tetrafluoruro de silicio. En 1824, Berzelius, que se considera descubridor, preparó silicio amorfo por el mismo método y purificó el producto eliminando, mediante repetidos lavados, los fluorosilicatos. En 1845, Deville preparó por primera vez silicio cristalino, la otra forma alotrópica.